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直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。《查看更多》
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